應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體晶片搬運； 適用晶片尺寸：300~450 mm；  潔凈等級：ISO等級1

半導(dǎo)體晶片搬運用機器人;
動態(tài)范圍：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬運、半導(dǎo)體
大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應(yīng)用設(shè)備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。
高速搬運：300枚/小時
適用：300mm-450mm晶片搬運

*1：本公司標準終端效應(yīng)器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標準品),當使用本公司標準300mm對應(yīng)終端校準器時
*3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應(yīng)終端效應(yīng)器時)
*4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請與我司聯(lián)系。石英晶體也可對應(yīng)（有業(yè)績）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進行評價和調(diào)整。
*5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附